Excimer is een samentrekking uit de woorden ‘excited dimer’. Bij deze vorm van laseren ontstaat de lichtstraal door de chemische reactie tussen een inactief gas (meestal argon, krypton of xenon) en een actief gas (fluor of chloor). Het element dat ontstaat bij deze reactie, die moet plaatsvinden onder bepaalde condities, wordt een dimer genoemd en kan alleen bestaan in die specifieke omgeving. Dit element zorgt voor het ultraviolet licht waarmee gelaserd wordt.